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SU-8光刻膠模具

SU-8硅片模具介紹

微流控芯片的加工過程中,通常都會用到模具,尤其是在PDMS芯片加工的過程中。PDMS芯片加工通常采用軟光刻技術來制作。為了執行PDMS軟光刻技術的加工過程,通常需要用到模板,最常規和經常使用的模板一定是環氧樹脂SU-8模具。

汶顥股份利用光刻技術在涂覆SU-8光刻膠的硅片上制備深寬比高的微結構與微零件,可制作厚度在10-500μ,具有一定機械強度的模具,利用光刻工藝實現圖案化,可用于PDMS澆筑,最后鍵合實現實驗載體,單次套刻可滿足深寬比1:1~10:1。

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SU-8光刻雙層模具制備以及PDMS芯片制備

微模具是具有微米級圖案結構的特殊材料模具,是制造微流控芯片等生物芯片所必需的前產品。微模具以光刻為基礎加工技術,根據成型工藝和應用范圍的差別,我們提供PDMS模具產品。

微模具產品

PDMS模具

用途

制作PDMS產品

模具外徑

標準硅片襯底尺寸 2 inch,3 inch,4 inch,5 inch,6 inch

溝槽深度

40-300μm

溝槽寬度

≥1μm

模具厚度

1mm

工期

SU-8硅片模具產品實例如下

厚度分別為30μ、50μ、200μ、500μ SU-8硅片模具

厚度分別為30μ、50μ、200μ、500μ SU-8硅片模具

局部結構放大圖

?單層結構:在硅片上只涂覆一層光刻膠,曝光一次完成;

    單層SU-8光刻膠模具局部結構放大圖

圖為:單層SU-8光刻膠模具局部結構放大圖

?多層結構:在硅片上多次涂覆光刻膠,多次曝光,可制作具備疊層的復合結構;

多層SU-8光刻膠模具局部結構放大圖

圖為:多層SU-8光刻膠模具局部結構放大圖

微流控芯片SU-8光刻膠硅片模具微觀放大圖

SU-8硅片模具微觀圖

PDMS模具

?SU-8 模具是利用 SU-8 光刻膠光刻固化之后直接得到的微模具;

?實驗室常用、價格低廉;

?適用于小批量 PDMS 芯片復制。

SU-8模具加工過程通常可以劃分為9個主要步驟,按照模具加工的順序如下所示:

1、準備晶片/圓片 ;

2、 旋涂負性SU-8光刻膠 ;

3、 軟烤(光刻膠的第一次烘烤) ;

4、 邊緣光刻膠的去除(可選) ;

5、 紫外曝光 ;

6、 曝光后烘烤(光刻膠的第二次烘烤);

7、 顯影 ;

8、 硬烘烤(光刻膠的第三次烘烤)(可選) ;

9、校驗檢查 。

注:本文主要以硅晶片為例,當然,也可以使用其他基底如表面修飾的玻璃。

環氧樹脂SU-8模具加工常用設備/耗材:等離子體處理機勻膠機(旋涂機)、紫外線曝光機、熱板、SU-8顯影液等。

SU-8光刻膠模具案例

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