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'關鍵字: 光刻膠曝光'
- 如何成功進行微流控SU-8光刻膠的紫外曝光?以很容易的避免這個問題。但是還有另一個不可避免的現象,那就是在SU-8光刻膠曝光的過程中,可能會有一個巨大的后果。事實上,如果SU-8光刻膠通過旋涂技...2024-08-23 08:57:36
- 微流控芯片制造工藝(下)將掩模上的圖案分成兩個掩模,從而使特征之間有更大的分離。使用兩個掩模將光刻膠曝光兩次。?雙重曝光的另一個優勢是:同一布局中的不同特征(如不同顏色所示)...2024-06-25 08:47:32
- 勻膠“邊膠”的產生及改善措施光過程中,邊珠還會在光刻膠膜和掩膜板之間充當不必要的間隙,這通常會導致光刻膠曝光的圖案分辨率低、尺寸誤差大或顯影后圖案的側壁不陡直等。消除“邊膠”的措...2024-02-22 09:54:25
- 光刻工藝介紹,使光刻膠在某種特定溶液中的溶解特性改變,有正性和負性光刻膠之分。正性光刻膠曝光的部分可溶解于顯影液中,負性光刻膠膠未曝光的部分可溶于顯影液中。光刻膠...2023-12-21 10:56:32
- 一文了解SU-8光刻膠放大光刻膠使用光致酸劑(PAG)作為光引發劑。?(光交聯反應示意圖)當光刻膠曝光后,曝光區域的光致酸劑(PAG)將會產生一種酸。這種酸在后熱烘培工序期...2023-07-25 08:58:21
- 負顯影 Negative Tone Development (NTD)的量產中[2]。?圖1?常規的顯影工藝與負顯影工藝對比負顯影的原理是:光刻膠曝光之前是不親水的聚合物(hydrophobic polymer),能溶解...2018-07-24 09:10:22
- 芯片光刻的流程詳解(下)銨(TMAH)(標準當量濃度為0.26,溫度 15~250C)。在I線光刻膠曝光中會生成羧酸,TMAH顯影液中的堿與酸中和使曝光的光刻膠溶解于顯影液,...2018-07-12 08:59:24
- 微流控SU-8光刻膠的紫外曝光以很容易的避免這個問題。但是還有另一個不可避免的現象,那就是在SU-8光刻膠曝光的過程中,可能會有一個巨大的后果。事實上,如果SU-8光刻膠通過旋涂技...2017-12-21 08:58:06
- 光刻膠成分及用途刻膠的主要技術參數5.1.靈敏度(Sensitivity)靈敏度是衡量光刻膠曝光速度的指標。光刻膠的靈敏度越高,所需的曝光劑量越小。單位:毫焦/平方厘...2017-10-31 17:26:19
- 光刻基本操作步驟一、認真核對隨工單:檢查隨工單上的工步與片子數是否與實際相符,如果正確,將其倒入黑盒中,用倒邊器檢查片子是否有崩邊,若有則查對隨工單上是否有標明,若無...2017-10-25 09:31:42
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