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URE-2000B型光刻機

  • 型號URE-2000B
  • 模式

中國光電URE-2000B型光刻機性能完善,功能齊全,具有廣泛適用性以及生產型。

  1. 詳細信息

產品名稱:

中國光電URE-2000B型光刻機

URE-2000B型紫外光刻機主要技術特點: 

   該機采用i線紫外曝光光源,光學系統采用特殊的消衍射和線條陡直增強技術,采用積木錯位繩眼透鏡實現高均勻照明,并配備了雙目雙視顯微鏡和CCD圖象對準系統(可同時使用),曝光能量高,聚光角度小,突具厚膠曝光功能,曝光設定采用微機控制,菜單界面友好,操作簡便。 

技術參數:

1.技術參數

曝光面積:110mm×110mm

分辨力:0.8μm(膠厚2μm的正膠)

對準精度:±1μm

最大焦厚:600mm(SU8膠,用戶提供檢測條件)

曝光波長:365nm

光源平行度:2?

掩模樣片整體運動范圍:X:6mm;Y:6mm

掩模尺寸:2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸

樣片尺寸:直徑f15mm--f100mm(可適應非標準片或碎片)

               厚度0.1mm--6mm(可擴展為15mm)

照明均勻性:±3%(f100mm范圍)

掩模相對于樣片運動行程:X:±5mm;   Y:±5mm;q:±6度

曝光能量密度:>18mW/cm

汞燈功率:1000W(直流)

曝光設定方式:定時(倒計時方式0.1s-999.9s任意設定)

外形尺寸:1400mm(長)?1200mm(寬)?1850mm(高)

 

配置:

(1)曝光頭

 冷光橢球鏡

 1000W進口直流高壓汞燈(德國歐司朗)

XYZ汞燈調節臺

光學系統:固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡鏡1、準直鏡鏡2、蠅眼透鏡組(100個透鏡)、i線濾光片、場鏡1、場鏡2、冷光反射鏡1、反射鏡2

冷卻風扇

(2)對準工件臺

掩模樣片整體運動臺

掩模樣片相對運動臺

轉動臺

樣片調平機構,自動完成

樣片自動調焦機構

承片臺4個(?15mm 、2英寸、3英寸、4英寸)

  掩模夾4個(2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸)

掩模抽拉式上下機構

(3)對準顯微鏡及CCD對準系統

光源、電源

雙目雙視場對準顯微鏡主體

目鏡3對(10倍、16倍、20倍,共6個)

物鏡3對(4倍、10倍、20倍,共6個)

CCD

21英寸液晶顯示器

(4)電控系統

汞燈觸發電源(1000W直流汞燈)

單片機控制系統

控制柜桌

(5)氣動系統

氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關等

電磁閥驅動

氣動儀表

(6)其他附件

真空泵一臺(無油泵)

空壓機一臺(靜音泵)

管道

(7)技術資料

使用維修說明書

顯微鏡使用說明書


標簽:   紫外光刻機
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